Theo các phân tích trong ngành do Semi công bố, ô nhiễm vi mô là yếu tố chính ảnh hưởng đến sự ổn định môi trường trong môi trường sản xuất có kiểm soát. Do đó, việc giám sát vệ sinh không khí trong phòng sạch đã trở thành một phần thiết yếu trong các chương trình kiểm soát ô nhiễm và đảm bảo chất lượng ở cấp cơ sở.
Chất hạt là một trong những nguồn gây ô nhiễm không khí chính trong môi trường phòng sạch. Giám sát liên tục các hạt trong không khí giúp người vận hành cơ sở xác minh các điều kiện làm sạch không khí và duy trì tuân thủ các tiêu chuẩn phòng sạch.
Để hỗ trợ giám sát môi trường phòng sạch liên tục, Cubic cung cấp Bộ đếm hạt quang học trực tuyến OPC-6510DS, được thiết kế để đo thời gian thực nồng độ hạt trong không khí trong môi trường được kiểm soát như cơ sở sản xuất điện tử và các ứng dụng dựa trên phòng sạch khác.
Khối lập phươngOPC-6510DSĐược phát triển dựa trên công nghệ tán xạ laser và cho phép phát hiện chính xác các hạt có kích thước khác nhau trong một Thể tích không khí. Với mô-đun bộ đếm hạt Laser tích hợp, quạt rpm ổn định và cảm biến lưu lượng siêu âm, OPC-6510DS mang lại tốc độ lấy mẫu ổn định là 28.3 L/phút, phù hợp với yêu cầu phân loại phòng sạch ISO 14644-1.
Thiết bị hỗ trợ đầu ra đồng thời trên năm kênh có kích thước hạt (>0.3 μm, >0.5 μm, >1.0 μm, >5.0 μm, >10 μm), được báo cáo bằng pcs/28.3 L hoặc pcs/m³, và được thiết kế để hoạt động liên tục 24/7 để đảm bảo giám sát ổn định, lâu dài mức độ hạt trong không khí.
Ngoài ra, OPC-6510DS còn được trang bị màn hình cảm ứng tích hợp để hiển thị thời gian thực dữ liệu giám sát và cấp độ phân loại phòng sạch. Báo động bằng âm thanh và hình ảnh được cung cấp để hỗ trợ cảnh báo môi trường tại chỗ.
Dữ liệu giám sát có thể được truyền qua truyền thông RS485 modbus và mqtt, cho phép tích hợp với hệ thống giám sát Cơ Sở hoặc quản lý tòa nhà, hỗ trợ các hành động kiểm soát môi trường kịp thời để duy trì nồng độ hạt trong không khí trong ngưỡng sạch được xác định trước.