Giải pháp giám sát quy trình sản xuất bán dẫn khối

Trong sản xuất chất bán dẫnNgành công nghiệp, ĐểMinimizETổn thất năng suất, nó rất cần thiết cho các nhà máy chế tạo chất bán dẫn (chất bán dẫn Fabs) áp dụng các chiến lược kiểm soát ô nhiễm nghiêm ngặt trong phòng sạch. Thông thường, PChất phát âm là một trong những nguồn gây ô nhiễm vi mô chính trong quy trình sản xuất chất bán dẫn, cần được theo dõi liên tục.

Để giúp các nhà máy chế tạo bán dẫn (fabs bán dẫn) liên tục theo dõi các hạt vật chất ĐểDuy trì các hạt trong không khí ở mức độ thấp Trong phòng sạch,Hình khốiĐã cung cấp đáng tin cậy Quang họcHạt Bộ đếm dựa trên công nghệ tán xạ ánh sáng,Sê-ri OPC-6303 VàSê-ri OPC-6510, trong đó Nhận ra sự phát hiện chính xác các hạt có kích thước khác nhau trong một thể tích không khí.Với mô-đun cảm biến đếm hạt laser độc đáo tích hợp, quạt rpm ổn định và cảm biến lưu lượng siêu âm được thiết kế tốt, OPC-6510 Sê-ri và OPC-6303 sê-ri có thểCung cấp tốc độ lấy mẫu khí ổn định và cao 28,3l/phút, cho phép nó tuân thủ ISO 21501-4Yêu cầu. Hình khốiTrực tuyếnQuang học Máy đếm hạtCó thể đồng thời xuất ra số hạt 5 kênh 0.3μm, 0.5μm, 1.0μm, 5.0μm, 10μm trong pcs/28.3l hoặc pcs/mvà hỗ trợ hoạt động 24/7 để đảm bảo giám sát hạt ổn định và liên tục.Hơn nữa,Hình khốiQuang học Máy đếm hạt (OPC)LoạtCó thể truyền dữ liệu giám sát trực tuyến dựa trên giao tiếp RS485 modbus và mqtt, có thể được tích hợp thêm vào hệ thống lọc để duy trì ô nhiễm vật chất hạt trong môi trường phòng sạch trong một phạm vi nồng độ thấp nhất định.

Hơn nữa, đểNhận ra cảnh báo an toàn kịp thời trong quá trình sản xuất công nghiệp bán dẫn, Khối cũng được thiết kếCảm biến độ ẩm theo dõi dựa trên công nghệ tdlas Và cảm biến oxy, đểĐo lường CáiHàm lượng vi lượng trong khí có độ tinh khiết cực cao Với độ chọn lọc cao, độ chính xác cao và xuất sắcĐộ tin cậy.